|
VEGA \\ XMU
Temel özellikler
|
|
Çözünürlük
|
|
Yüksek vakum modunda (SE) 30kV de 3nm
|
|
Düşük ve Orta Vakum Modunda (BSE, LVSTD) 30kV de 3.5nm
|
|
Çalışma vakumu
|
|
Yüksek vakum modu < 1 x 10 -2 Pa
|
|
Orta Vakum Modu 3 ? 150Pa
|
|
Düşük Vakum Modu 3 - 500Pa (opsiyonel 2000Pa)
|
|
Elektron optik çalışma modları
|
|
| Yüksek Vakum Modu |
Çözünürlük,Derinlik, Alan, Fish-eye, Rocking beam
|
| Orta Vakum Modu |
Çözünürlük, Derinlik, Alan, Fish-eye |
| Düşük Vakum Modu |
Çözünürlük
|
|
|
Büyütme
|
|
30 kV Çözünürlük Modunda 10x ten 1 000 000x |
|
Fish eye modunda en küçük yaklaşık büyütme 4x
|
|
Hızlandırıcı (Accelerating) voltaj
|
|
200 V tan 30 kV
|
|
Elektron tabancası
|
|
Tungsten ısıtılmış katod
|
|
Prob bakımı
|
|
1 pA den 2µA
|
|
Tarama
|
| Tarama Hızı |
200 ns den 10 ms her pikselde ayarlanabilir adımlar veya sürekli
|
| Fokus penceresi |
Şekil ,ebat ve pozisyon sürekli ayarlanabilir
|
|
|
Dinamik Fokus, Nokta & Çizgi Tarama
|
|
Görüntü Boyutu
|
|
4096 × 4 096 piksele kadar, canlı görüntü için (4 basamakta) ve saklanmış görüntüler için (9 basamak), seçilebilir kare, 4:3 veya 2:1 dikdörtgen için ayrı ayrı ayarlanabilir.
|
|
Mikroskop kontrolü
|
|
Tüm mikroskop fonksiyonları WindowsTM platformu kullanan VegaTC programının yüklü olduğu bir bilgisayardan kontrol edilir.
|
|
Uzaktan kontrol
|
|
TCP/IP ile
|
|
Otomatik işlemler
|
|
Vakum kontrolü, Filaman ısıtması, Elektron tabancası ayarları, Çözünürlük modu merkezlemesi, kV dengelemesi, Spot büyüklüğü için Prob Akımı optimizasyonu, Büyütme için Spot büyüklüğü optimizasyonu, Tarama hızı, Kontras & Parlaklık, Fokus & Stigmator, Taramalı tablo
|
|
Numune değişiminden sonra pompalama süresi
|
|
Tipik olarak < 3dk
|
|
Numune haznesi opsiyonları
|
|
Numune hazenesinin tipi - XM
|
|
Ekstra Büyük Numune Haznesi, motorize compucentric stage
|
|
Numune haznesi ve kolon süspansiyonu
|
|
Pnömatik (havalı)
|
|
Numune haznesi
|
|
| İç ebatlar |
300 mm (genişlik) x 330 mm (derinlik)
|
| Kapı genişliği |
280 mm (genişlik) x 310 mm (derinlik)
|
|
|
Numune stagei
|
| Tip |
Compucentric
|
| Hareketler |
X= 130 mm - motorize Y= 130 mm - motorize
Rot.: 360
o sürekli - motorize Tilt: -20
o den +80o - eucentric olarak - motorize
Maksimum numune yüksekliği: 143mm
|
|