www.nanospek.com.tr/VEGA\\LSU

VEGA _\\ LSU

Büyük numune hazneli (Chamber) ve 4 eksen motorize stageli yüksek vakumlu mikroskop

Önemli özellikleri:

Dört lensli yenilikçi ve güçlü elektron optikleri
Birçok değişken çalıma modu
Turbomoleküler pompalı hızlı ve temiz vakum sistemi - su soğutması getektirmez!
Mikroskop kontrolü, görüntü arşivleme, ölçüm, işleme ve analiz için sofistike ve yenilikçi programın kapsamlı uyumu
Network (ağ) işlemleri, uzaktan kontrol ve diagnostik
11 numune haznesi giriş portu, dedektör ve aksesuarlar için kapsamlı seçim imkanı
Eşzamanlı EDX, WDX ve EBSD analizlerine imkan sağlayan en uygun şekle getirilmiş analitik geometri
Motorize Z yönündeki hareketleri de içeren hızlı ve kusursuz bilgisayar kontrollü stage motorizasyonu ile hassas ve kesin otomatikleşmiş analizler.
Stage hareket kontrolü ve uzaktan diagnostiği de içeren mikroskobun uzaktan kontrolü
Geniş yelpazeli ilave aksesuar seçebilme imkanı.

VEGA_\\LSU

Temel özellikler

Çözünürlük

Yüksek vakum modunda (SE) 30 kV de 3 nm

Düşük ve Orta Vakum Modunda (BSE, LVSTD)30 kV de 3.5 nm

Çalışma vakumu

Yüksek vakum modu < 1 x 10^-2Pa

Orta vakum modu 3 - 150 Pa

Düşük vakum modu 3 - 500 Pa (opsiyonel 2000 Pa)

Elektron optik çalışma modları

Yüksek vakum modu	Çözünürlük, Derinlik, Alan, Fish-eye, Rocking Beam
Orta vakum modu	Çözünürlük, Derinlik, Alan, Fish-eye
Düşük vakum modu	Çözünürlük

Büyütme

30 kV Çözünürlük Modunda 13x ten 1 000 000x

Fish eye modunda en küçük yaklaşık büyütme 4x

Hızlandırıcı (Accelerating) voltaj

200 V tan 30 kV

Elektron tabancası

Tungsten ısıtılmış katod

Prob bakımı

1 pA den 2µA

Tarama

Tarama Hızı
200 ns den 10 ms her pikselde ayarlanabilir adımlar veya sürekli

Fokus penceresi
Şekil ,ebat ve pozisyon sürekli ayarlanabilir

Dinamik fokus, nokta & çizgi tarama

Görüntü Boyutu

4096 × 4 096 piksele kadar, canlı görüntü için (4basamakta) ve saklanmış görüntüler için (9basamak), seçilebilir kare, 4:3 veya 2:1 dikdörtgen için ayrı ayrı ayarlanabilir.

Mikroskop kontrolü

Tüm mikroskop fonksiyonları Windows^TM platformu kullanan VegaTC programının yüklü olduğu bir bilgisayardan kontrol edilir.

Uzaktan kontrol

TCP/IP ile

Otomatik işlemler

Vakum kontrolü, Filaman ısıtması, Elektron tabancası ayarları, Çözünürlük modu merkezlemesi, kV dengelemesi, Spot büyüklüğü için Prob Akımı optimizasyonu, Büyütme için Spot büyüklüğü optimizasyonu, Tarama hızı, Kontras & Parlaklık, Fokus & Stigmator, Taramalı tablo

Numune değişiminden sonra pompalama süresi

Tipik olarak < 3dk

Numune haznesi opsiyonları

Numune hazenesinin tipi - LS

Büyük Numune Haznesi, motorize yarı-compucentric stage

Numune haznesi ve kolon süspansiyonu

Mekanik? kauçuk titreşim azaltıcı elementler vasıtasıyla

LS Numune haznesi

İç çap
ø230 mm

Kapı genişliği
148 mm

Port sayısı
11

Numune stagei

Tip	yarı-compucentric
Hareketler	X= 40 mm - motorize Y= 40 mm - motorize Z= 47 mm - motorize Rot.: 360 ^o sürekli - motorize
	Tilt: manuel, 15mm WD ve eucentric numune yüksekliğinde -75^o den +50^o
	Maksimum numune yüksekliği: 60mm

Standart olarak VEGA _\\ _LSU mikroskop ile verilenler

- SE (Secondary Electron) dedektör

- Geri çekilebilir BSE dedektör

- Prob Akımı ölçümü

- Numune temas alarmı

- Numune haznesi kamerası

Program:

- Ölçüm

- Görüntü işlemleri

- Görüntü işleme

- 3D Tarama

- Sertlik

- Çoklu görüntü kalibratörü

- Cisim alanı

- Büyütme çıktısı

- Kapatma zamanlayıcı

- Tolerans

Opsiyonlar:

- LVSTD

- TE dedektör

- EBIC

- EDX*

- WDX*

- EBSD*

- Peltier bileşenli soğutma stagei

-Program:

- Morfoloji

- Parçacık analizi

- Görüntü gözlemleyici

- Görüntü koparıcı

- MouseLink

(*) - tamamen uyumlu 3. parti ürünleri