|
VEGA
\\ LSH
Büyük numune hazneli (Chamber) ve 4 eksen motorize stageli yüksek vakumlu mikroskop
|
|
|
|
Önemli özellikleri:
- Dört lensli yenilikçi ve güçlü elektron optikleri
- Birçok değişken çalıma modu
- Turbomoleküler pompalı hızlı ve temiz vakum sistemi - su soğutması getektirmez!
- Mikroskop kontrolü, görüntü arşivleme, ölçüm, işleme ve analiz için sofistike ve yenilikçi programın kapsamlı uyumu
- Network (ağ) işlemleri, uzaktan kontrol ve diagnostik
- 11 numune haznesi giriş portu, dedektör ve aksesuarlar için kapsamlı seçim imkanı
- Eşzamanlı EDX, WDX ve EBSD analizlerine imkan sağlayan en uygun şekle getirilmiş analitik geometri
Motorize Z yönündeki hareketleri de içeren hızlı ve kusursuz bilgisayar kontrollü stage motorizasyonu ile hassas ve kesin otomatikleşmiş analizler.
- Stage hareket kontrolü ve uzaktan diagnostiği de içeren mikroskobun uzaktan kontrolü
-
Geniş yelpazeli ilave aksesuar seçebilme imkanı.
|
|
|
VEGA
\\LSH
Temel özellikler
|
|
Çözünürlük
|
|
Yüksek vakum modunda (SE) 3 kV de 3 nm |
|
Çalışma vakumu
|
|
Yüksek vakum modu < 1 x 10 -2 Pa
|
|
Elektron optik çalışma modları
|
|
Çözünürlük, Derinlik, Alan, Fish-eye, Rocking Beam
|
|
Büyütme
|
|
30 kV Çözünürlük Modunda 13x ten 1 000 000x |
|
Fish eye modunda en küçük yaklaşık büyütme 4x
|
|
Hızlandırıcı (Accelerating) voltaj
|
|
200 V tan 30 kV
|
|
Elektron tabancası
|
|
Tungsten ısıtılmış katod
|
|
Prob bakımı
|
|
1 pA den 2µA
|
|
Tarama
|
| Tarama Hızı |
200 ns den 10 ms her pikselde ayarlanabilir adımlar veya sürekli
|
| Fokus penceresi |
Şekil ,ebat ve pozisyon sürekli ayarlanabilir
|
|
Dinamik fokus, nokta & çizgi tarama |
|
|
Görüntü Boyutu
|
|
4096 × 4 096 piksele kadar, canlı görüntü için (4basamakta) ve saklanmış görüntüler için (9basamak), seçilebilir kare, 4:3 veya 2:1 dikdörtgen için ayrı ayrı ayarlanabilir.
|
|
Mikroskop kontrolü
|
|
Tüm mikroskop fonksiyonları WindowsTM platformu kullanan VegaTC programının yüklü olduğu bir bilgisayardan kontrol edilir.
|
|
Uzaktan kontrol
|
|
TCP/IP ile
|
|
Otomatik işlemler
|
|
Vakum kontrolü, Filaman ısıtması, Elektron tabancası ayarları, Çözünürlük modu merkezlemesi, kV dengelemesi, Spot büyüklüğü için Prob Akımı optimizasyonu, Büyütme için Spot büyüklüğü optimizasyonu, Tarama hızı, Kontras & Parlaklık, Fokus & Stigmator, Taramalı tablo
|
|
Numune değişiminden sonra pompalama süresi
|
|
Tipik olarak < 3dk
|
|
Numune haznesi opsiyonları
|
|
Numune hazenesinin tipi - LM
|
|
Büyük Numune Haznesi, motorize yarı-compucentric stage
|
|
Numune haznesi ve kolon süspansiyonu
|
|
Pnömatik (havalı) |
|
Numune stagei
|
| Tip |
yarı-compucentric
|
| Hareketler |
X= 80 mm - motorize
Y= 60 mm - motorize
Z= 47 mm - motorize
Rot.: 360
o sürekli - manuel
|
|
Tilt: manuel, 15mm WD ve eucentric numune yüksekliğinde -75o den +50o Maksimum numune yüksekliği: 60mm
|
|
Maksimum numune yüksekliği: 60mm
|
|
|
|
|