|
MIRA
\
XMU
Ekstra Büyük Numune Hazneli, Değişken Vakumlu Yüksek Çözünürlük Schottky FE SEM
|
|
|
|
En önemli özellikleri:
-
Yüksek çözünürlük için yüksek parlaklıkta Schottky emitör / yüksek-akım / düşük-gürültü görüntüleme
-
İletken olmayan, doğal hallerinde su içeren örneklerin düşük vakum koşullarında mikroskop numune haznesinde çalışılabilmesi
-
Turbomoleküler ve rotary pompalar vasıtasıyla hızlı ve kolay şekilde temiz çalışma vakumuna ulaşma, yüksek vakum modundandan düşük vakum moduna hızlı ve kolay geçiş imkanı
-
sunan eşsiz üç-lens Geniş Alan OptikTM tasarımı ışın aperture optimizasyonu için Tescan'ın tescilli Intermediate lensleri ile şekillendirilmiştir
-
Sağlam software Elektron Optik Tasarımı ile bütünleşmiş performans ve spot (nokta) optimizasyonu için gerçek zamanlı In-Flight Işın TaramaTM
-
Hızlı görüntüleme oranı
-
Yüksek hızda geniş alanlı otomasyon, ör. otomatik parçacık bulma ve analiz etme.
-
Olağanüstü analitik potansiyel - eşzamanlı EDX, WDX ve EBSD analizlerine imkan sağlayan en uygun şekle getirilmiş analitik geometrili 12 numune haznesi portu
-
Elektron optiklerini ve ayarlarını (alignment) da içeren tamamen otomatik mikroskobun hazırlanması.
SEM in kontrolü, görüntü elde etme, arşivleme, işleme ve analiz için sofistike program
-
Network işlemleri ve sisteme dahil olan uzaktan erişim/diagnostik, tamamı Tescan standardı olarak verilmektedir.
|
|
|
MIRA
\
XMU
Temel özellikler
|
|
Çözünürlük
|
|
Yüksek vakum modunda (SE) 30kV de 1.5 nm
|
|
Düşük Vakum Modunda (BSE/LVSTD) 30kV de 2.5 nm
|
|
Çalışma vakumu
|
|
Numuna haznesi - Yüksek vakum modunda
|
< 1 × 10-2 Pa
|
|
Numuna haznesi - Düşük vakum modunda
|
7 ? 150 Pa
|
|
Elektron tabancası vakumu
|
< 1 × 10-6 Pa
|
|
|
Elektron optik çalışma modları
|
|
| Yüksek vakum |
Çözünürlük,Derinlik, Alan, Fish-eye, Rocking beam
|
| Düşük vakum |
Çözünürlük |
|
|
Büyütme
|
|
30 kV Çözünürlük Modunda 10x ten 1 000 000x |
|
Fish eye modunda en küçük yaklaşık büyütme 4x
|
|
Hızlandırıcı (Accelerating) voltaj
|
|
500 V tan 30 kV
|
|
Elektron tabancası
|
|
Yüksek parlaklıkta Schottky emitter
|
|
Prob bakımı
|
|
2 pA den 2µA
|
|
Tarama
|
| Tarama Hızı |
200 ns den 10 ms her pikselde ayarlanabilir adımlar veya sürekli
|
| Fokus penceresi |
Şekil ,ebat ve pozisyon sürekli ayarlanabilir
|
|
|
Görüntü Boyutu
|
|
8192 × 8192 piksele kadar 16-bit, canlı görüntü için (4 basamakta) ve saklanmış görüntüler için (9 basamak), seçilebilir kare, 3:4 veya 1:2 dikdörtgen.
|
|
Mikroskop kontrolü
|
|
Tüm mikroskop fonksiyonları WindowsTM platformu kullanarak çalışan MiraTC programı tarafından bilgisayar ile kontrol edilmektedir.
|
|
Uzaktan kontrol
|
|
TCP/IP ile
|
|
Otomatik işlemler
|
|
Eşsiz In-Flight Işın TaramaTM ile prob akımı ve spot büyüklüğü sürekli ayarlanabilir, vakum kontrolü, objektiif lens ayarı, Elektron tabancası ayarları, kV dengelemesi, Spot büyüklüğü için Prob Akımı optimizasyonu, Büyütme için Spot büyüklüğü optimizasyonu, Tarama hızı, Kontras & Parlaklık, Fokus & Stigmator, Taramalı tablo
|
|
Numune değişiminden sonra pompalama süresi
|
|
Tipik olarak < 3dk
|
|
Numune haznesi opsiyonları
|
|
Numune hazenesinin tipi - XM
|
|
| İç ebat |
300 mm(genişlik) x 330 mm(derinlik)
|
| Kapı genişliği |
280 mm(genişlik) x 300 mm(yükseklik)
|
| Port sayısı |
12 |
| Numune haznesi süspansüyonu |
Pnömatik (havalı) |
|
|
Numune stagei
|
| Tip |
Compucentric
|
| Hareketler |
X= 130 mm - motorize
Y= 130 mm - motorize
Z= 100 mm - motorize
Rot.: 360° sürekli - motorize
Tilt: -20° den +80° - motorize
Maksimum numune yüksekliği: 143mm
|
|
|