MIRA  _{\ LMH}  

Yüksek Çözünürlük Schottky FE SEM

En önemli özellikleri:

• Yüksek çözünürlük için yüksek parlaklıkta Schottky emitör / yüksek-AKIM / düşük-gürültü görüntüleme
• Çeşitli çalışma ve görüntüleme modu sunan eşsiz üç-lens Geniş Alan Optik^TM tasarımı ışın aperture optimizasyonu için Tescan?ın tescilli Intermediate lensleri ile şekillendirilmiştir
• Sağlam software Elektron Optik Tasarımı ile bütünleşmiş performans ve spot (nokta) optimizasyonu için gerçek zamanlı In-Flight Işın Tarama^TM
• Hızlı görüntüleme oranı
• Yüksek iş hacimli geniş alanlı otomasyon, ör. otomatikleştirilmiş parçacık konumu ve analizi
• Olağanüstü anaalitik potansiyel - eşzamanlı EDX, WDX ve EBSD analizlerine imkan sağlayan en uygun şekle getirilmiş analitik geometrili  11 numune haznesi portu
• Elektron optiklerini ve ayarlarını (alignment) da içeren tamamen otomatik mikroskopun hazırlanması
• SEM in kontrolü, görüntü elde etme, arşivleme, işleme ve analiz için sofistike program
• Network işlemleri ve sistemle birlikte bulunan uzaktan erişim/diagnostik, tümü Tescn ile standart olarak gelmektedir.

MIRA  _{\ LMH}  

Temel özellikler

Çözünürlük

Yüksek vakum modunda (SE)  30kV de 1.5 nm

Çalışma vakumu

Numuna haznesi vakumu Yüksek vakum modunda  < 1 x 10 ^-2 Pa

Elektron tabancası vakumu  < 1 x 10 ^-6  Pa

Elektron optik çalışma modları

Büyütme

30 kV Çözünürlük Modunda 13x ten 1 000 000x   

Fish eye modunda en küçük  yaklaşık büyütme  4x

Hızlandırıcı (Accelerating) voltaj

500 V tan 30 kV

Elektron tabancası

Yüksek parlaklıkta Schottky emitter

Prob bakımı

2 pA den 2µA

Tarama

Dinamik Fokus, Nokta & Çizgi Tarama

Görüntü Boyutu

8192 × 8192 piksele kadar 16-bit, canlı görüntü için (4 basamakta) ve saklanmış görüntüler için (9 basamak), seçilebilir kare, 3:4 veya 1:2 dikdörtgen.

Mikroskop kontrolü

Tüm mikroskop fonksiyonları Windows^TM platformu kullanarak çalışan MiraTC programı tarafından bilgisayar ile kontrol edilmektedir.

Uzaktan kontrol

TCP/IP ile

Otomatik işlemler

Eşsiz In-Flight Işın Tarama^TM  ile prob akımı ve spot büyüklüğü sürekli ayarlanabilir, vakum kontrolü, objektiif lens ayarı, Elektron tabancası ayarları, kV dengelemesi, Spot büyüklüğü için Prob Akımı optimizasyonu, Büyütme için Spot büyüklüğü optimizasyonu, Tarama hızı, Kontras & Parlaklık, Fokus & Stigmator, Taramalı tablo

Numune değişiminden sonra pompalama süresi

Tipik olarak < 3dk

Numune haznesi opsiyonları

Numune hazenesinin tipi - LM

İç ebat	ø230 mm
Kapı genişliği	148 mm
Port sayısı	11
Numune haznesi süspansüyonu	Pnömatik (havalı)

Numune stagei