|
|
|
|
EasyProbe SEM - Taramalı Elektron Mikroskobu (entegre EDX, yüksek/düşük vakum) |
|
|
|
Tescan EasyProbe SEM, taramalı elektron mikroskobu ve Bruker AXS enerji dağılımlı x-ray mikroanaliz sisteminin mükemmel bir kombinasyonudur. Düşük / yüksek vakum çalışma modları sayesinde iletken olmayan numuneler ile kaplama yapmadan çalışmak mümkündür. |
|
|
|
SEM özellikleri : |
|
çözünürlük (SE) |
: |
3nm 30kV’da |
|
|
: |
8nm 3kV’da |
|
çözünürlük (BSE) |
: |
3,5nm 30kV’da |
|
(düşük vakum modunda) |
|
|
|
büyütme |
: |
6x – 1.000.000x |
|
gerilim voltajı |
: |
200V – 30kV |
|
elektron tabancası |
: |
tungsten filament |
|
probe current |
: |
1pA – 2µA |
|
kolon vakum |
: |
< 1x10-2 Pa |
|
numune odası vakum |
|
|
|
yüksek vakum modu |
: |
< 1x10-2 Pa |
|
orta vakum modu |
: |
3 – 150 Pa |
|
düşük vakum modu |
: |
3 – 500 Pa |
|
|
|
|
|
EDS özellikleri |
|
enerji çözünürlüğü |
: |
133eV (Mn Kα) 10.000 cps’de |
|
dedektör tipi |
: |
Bruker XflashTM , aktif alan 10mm2 |
|
dedektör penceresi |
: |
SLEW, B(5) – Am(95) |
|
dedektör soğutma |
: |
peltier soğutma(sıvı azot gerektirmez) |
|
|
|
|
|
SEM Numune Odası özellikleri |
|
numune odası |
|
|
|
iç çap |
: |
160mm |
|
port sayısı |
: |
8 |
|
kapı genişliği |
: |
120mm |
yüksek/düşük vakum
geçiş zamanı |
: |
< 3dakika |
|
numune tablası |
|
|
|
tip |
: |
eucentric |
|
eksen hareketleri |
|
|
|
X |
: |
45mm – motorize |
|
Y |
: |
45mm – motorize |
|
Rotasyon |
: |
360o sürekli – motorize |
|
Z |
: |
27mm – manuel |
|
Z’ |
: |
6mm – manuel |
|
Tilt |
: |
-75o +50o manuel |
|
maksimum numune yüksekliği |
: |
30mm |
|
|
|
|
|
|
Mikroskop Kontrolü |
|
• EasySEM kontrol arayüzü ve dokunmatik ekran sayesinde mikroskop ve EDX çok
kolay bir şekilde kumanda edilmektedir. |
|
• One-touch EDX aktif hale getirildiği zaman, ekranda gerçek SEM görüntüsünün
işaretli noktası üzerindeki kantitatif elementel analiz sonuçları otomatik
olarak ekrana gelir. |
|
|
|
|
|
|
|
|